Transmission Electron Microscopy (TEM) ke mokhoa oa ho hlahloba sebopeho sa microphysical o ipapisitseng le microscope ea elektrone e thehiloeng holim'a lebone la elektrone joalo ka mohloli oa leseli, ka qeto e phahameng ea hoo e ka bang 0.1nm.Ho hlaha ha theknoloji ea TEM ho ntlafalitse haholo moeli oa ho shebella mahlo a hlobotseng a motho ka har'a meaho e nyane, hape ke sesebelisoa sa bohlokoahali sa ho shebella semiconductor lebaleng la semiconductor, hape ke sesebelisoa sa bohlokoa bakeng sa ho etsa lipatlisiso le nts'etsopele, tlhahlobo ea ts'ebetso ea tlhahiso ea bongata, le ts'ebetso. tlhahlobo ea anomaly tšimong ea semiconductor.
TEM e na le mefuta e mengata e fapaneng ea lits'ebetso lefapheng la semiconductor, joalo ka tlhahlobo ea ts'ebetso ea ho etsa li-wafer, tlhahlobo ea ho hloleha ha chip, tlhahlobo ea chip reverse, tlhahlobo le tlhahlobo ea ts'ebetso ea semiconductor, jj. lik'hamphani tsa moralo oa li-chip, lipatlisiso le nts'etsopele ea lisebelisoa tsa semiconductor, lipatlisiso le nts'etsopele ea thepa, litsi tsa lipatlisiso tsa univesithi joalo-joalo.
GRGTEST TEM Kenyelletso ea bokhoni ba sehlopha sa tekheniki
Sehlopha sa tekheniki sa TEM se etelletsoe pele ke Dr. Chen Zhen, 'me mokokotlo oa tekheniki oa sehlopha o na le lilemo tse fetang 5 tsa boiphihlelo liindastering tse amanang.Ha ba na boiphihlelo bo botle ba tlhahlobo ea sephetho sa TEM feela, empa hape ba na le boiphihlelo bo bongata bo lokiselitsoeng sampole ea FIB, 'me ba na le bokhoni ba ho sekaseka 7nm le kaholimo ho li-wafers tse tsoetseng pele le meaho ea bohlokoa ea lisebelisoa tse fapaneng tsa semiconductor.Hajoale, bareki ba rona ba holim'a masela a lapeng a pele, lifeme tsa ho paka, lik'hamphani tsa meralo ea li-chip, liunivesithi le litsi tsa lipatlisiso tsa mahlale, joalo-joalo, 'me li tsebahala haholo ke bareki.
Nako ea poso: Apr-13-2024